吴富国首先给出了肯定，不过紧接着就话锋一转道：“但整个EUV光刻机需要将近几十万枚零件，区区一张图，说明不了什么。”
这个方法，他是知道的，也是EUV技术的关键，说白了，就是DUV技术的光，击打液态金属锡，得到新光源。
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